Analizador de Trazas modelo T-I MAX

La serie T-I Max™ es una familia de monitores para Airborne Molecular Contaminants (AMC) diseñada para la detección y monitoreo continuo de contaminantes moleculares en ambientes de salas limpias para la industria de semiconductores. Utiliza tecnología Cavity Ring-Down Spectroscopy (CRDS) para mediciones de muy alta sensibilidad.

Aplicación principal

Diseñado para el monitoreo continuo de contaminantes químicos presentes en:

• Salas limpias de semiconductores.
• Equipos de proceso.
• Sistemas de transporte y almacenamiento de obleas.
• Ambientes críticos de fabricación electrónica.

Contaminantes monitoreados

• HF (ácido fluorhídrico).
• HCl (ácido clorhídrico).
• NH₃ (amoníaco).

Tecnología de medición

Principio de operación

• Tecnología de espectroscopía CRDS.
• Medición absoluta de contaminantes gaseosos.
• Operación libre de deriva.
• Calibración trazable a laboratorios de referencia.
• Capacidad de detección en niveles de partes por trillón (ppt).

Desempeño analítico

Precisión

• ±0,5 % de la lectura o un tercio del límite de detección, el valor que resulte mayor.

Exactitud a span

• ±4 % de la lectura.

Exactitud a cero

Dependiente del modelo y contaminante medido.

Rangos de medición

T-I Max HF

• Rango: 0 a 1 ppm.
• Límite de detección (LDL): 20 ppt.
• Exactitud a cero: ±20 ppt.

T-I Max HCl

• Rango: 0 a 4 ppm.
• Límite de detección (LDL): 100 ppt.
• Exactitud a cero: ±100 ppt.

T-I Max NH₃

• Rango: 0 a 40 ppm.
• Límite de detección (LDL): 300 ppt.
• Exactitud a cero: ±300 ppt.

Tiempo de respuesta

T-I Max HF

• Menor a 3 minutos para una concentración de 20 ppb.

T-I Max HCl

• Menor a 30 segundos para una concentración de 20 ppb.

T-I Max NH₃

• Menor a 3 minutos para una concentración de 20 ppb.

Condiciones ambientales

Temperatura de operación

• 10 °C a 40 °C.

Humedad relativa ambiente

• 10 % a 90 % sin condensación.

Temperatura de almacenamiento

• -10 °C a +50 °C.

Condiciones de muestreo

Humedad relativa recomendada

A 20 °C:

• 30 % a 70 % HR.

A 25 °C:

• 20 % a 50 % HR.

A 30 °C:

• 15 % a 40 % HR.

Temperatura máxima del gas

• Hasta 60 °C.

Sistema de manejo de muestra

Materiales en contacto con la muestra

• Componentes optimizados para mediciones en niveles ppt y alta velocidad de respuesta.

Conexiones de proceso

• Conexiones Swagelok® de PFA de 1/4″ para entrada y salida.

Presión de entrada

• Presión atmosférica.

Presión de salida

• Vacío inferior a 10 Torr.

Caudal de muestra

• Aproximadamente 3 slpm para NH₃.
• Aproximadamente 2 slpm para HF y HCl.

Gases de muestra compatibles

• Aire de salas limpias.
• Aire seco limpio (CDA).
• Nitrógeno.

Requisito adicional

• Fuente de vacío superior a 2 slpm a 10 Torr.

Electrónica e interfaces

Alimentación eléctrica

• 90 a 240 VAC.
• 50/60 Hz.

Consumo eléctrico

• Máximo 40 W.

Salidas analógicas

• 4-20 mA aislada por sensor.

Alarmas

• Dos alarmas programables por el usuario.
• Una alarma de falla del sistema.
• Relés tipo Form C.

Interfaces de comunicación

• Ethernet 10/100 Base-T.
• USB.
• RS-232.
• RS-485.
• Modbus TCP opcional.

Interfaz de usuario

• Pantalla táctil LCD de 5,7″.

Almacenamiento de datos

• Memoria interna.
• Memoria flash externa.

Construcción mecánica

Sensor estándar

Dimensiones:

• Alto: 222 mm.
• Ancho: 218 mm.
• Profundidad: 599 mm.

Peso:

• 15 kg.

Rack para sensores

Capacidad:

• Hasta dos sensores.

Dimensiones:

• Alto: 222 mm.
• Ancho: 483 mm.
• Profundidad: 599 mm.

Plataforma móvil GO-cart™

Sistema móvil diseñado para campañas de monitoreo en distintos sectores de una planta.

Características

• Capacidad para hasta tres analizadores T-I Max.
• Bombas de vacío de bajo consumo y sin ventilador.
• Pantalla táctil central superior.
• Fuente de alimentación de respaldo opcional.
• Pintura conductiva ESD opcional.

Dimensiones

• Alto: 1270 mm.
• Ancho: 584 mm.
• Profundidad: 914 mm.

Peso

• 118 kg sin incluir la bomba de vacío.

Certificaciones

• Marcado CE.

Características destacadas

• Detección en niveles de ppt.
• Medición continua de HF, HCl y NH₃.
• Operación libre de deriva.
• Muy bajo costo de mantenimiento.
• Plataforma apta para monitoreo fijo o móvil en salas limpias de semiconductores.
• Respuesta rápida para identificación de eventos de contaminación molecular.